低温等离子体废气处理设备和技术是基于原始电晕放电从高频高压电场通过尖端放电产生的新一代低温等离子体技术具有高能量，高电子发射密度，净化原理如下：
      在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞能量转化为污染物分子内部或动能，分子的能量被激发或电离形成活性基团，当污染物分子获得能量更大比其分子键的结合能，污染物分子破坏分子键，直接分解成单个原子或由单一无害气体分子形成的原子。
      等离子体包含大量高能电子，正离子和负离子，激发态粒子和强氧化后型自由基。这些活性颗粒和部分废气分子碰撞并结合产生大量的活性自由基如OH，HO2，氧化性强O3，与有害气体分子发生化学反应，最终产生无害产物。
      物理功能表现为电荷的尘埃。等离子体中的大量电子与颗粒污染物非弹性碰撞并粘附到表面以使颗粒带电。在电场的作用下，微粒污染物被集尘杆收集。
      生物功能在表现消毒和灭菌效果。机理是：阳离子和阴离子颗粒在等离子体微生物表面产生电剪切力大于其细胞膜的表面张力，导致细胞膜损伤导致微生物死亡。
      在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞能量转化为污染物分子的内部能量或动能，分子的能量被激发或电离形成活性基团，而在空气中氧气和在高能电子的作用下，水还能产生大量的新的活性氢，活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞，然后引发一系列复杂的物理化学反应。从等离子体的活性基团的组成，可以看出，等离子体富含高度化学活性的颗粒，例如电子，离子，自由基和激发态。废气中的污染物与这些活性基团以高能量反应，最后转化为CO2和H2O等物质，达到净化废气的目的。