建立污染物治理的投资以及运转费用的费用函数，一般用归纳法、参数分析法或标准设计法。考虑到我国大气污染物治理的现状，废气治理设施投资费用函数可采用一种综合的方法，我们称之为系列法来进行。系列法的特点为利用现有各种商品化的系列除尘器的市场价格，并加上设备安装费用，作为治理设施的投资费，回归同一类除尘器的投资费用可得出治理设施的投资费用函数。此方法的特点是综合了回归法与标准设计法两种方法，因此它有两方面的优点。另外由于市场价格是不断变化的，费用函数也可随商品价格的变化而变化，浙江除尘设备使建立的费用函数随时符合实际情况。设备费用函数由四类除尘器设备的1990年不变价（由生产厂家提供现价所得平均值），用最小二乘法回归获得它们的设备费用与处理气量的关系。湿式除尘器投资费用最低，旋风除尘器比湿式除尘器稍高一点。不过，湿式除尘器还存在一个废气处理、循环回收再用的问题；袋式和电除尘器的投资费用都很高，特别是电除尘器投资费用最高。运行费用函数根据四类除尘器的运行费用（由人工、动力、维修、水费、设备折旧费总和计算而得），旋风除尘器的运行费用最低，湿式除尘器其次，布袋除尘器的运行费用最高。因为布袋除尘器要不断更换滤袋，且用电也较多。